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实验电热板高效完成半导体晶圆加热效果
点击次数:619 更新时间:2023-04-26

半导体材料是当今电子技术中最重要的材料之一,其中晶圆作为半导体芯片加工的基础材料,在电子产业中起着至关重要的作用。晶圆加热是半导体器件制造过程中重要的一个环节,通常需要将晶圆加热到高温状态进行各种表面处理和加工。在这个过程中,如何保证晶圆的加热均匀性、稳定性和安全性,对于半导体器件的质量和性能有着直接的影响。因此,选择合适的加热设备以及加热方式显得尤为重要。


半导体晶圆加热选实验电热板的好处


在晶圆加热设备中,实验电热板是一种经济实用、效果良好的加热设备,广泛应用于半导体器件、光学元件等领域。相比其他加热设备,实验电热板具有加热面积大、温度均匀、稳定性好、控制精度高、安全可靠等优点。同时,实验电热板还可以根据实际需求进行多重参数的调整和设置,实现更为灵活和精确的加热控制,满足不同加热处理的要求。因此,选择合适的实验电热板对于保证晶圆加热过程的质量和效率具有重要的意义。


格丹纳HT-200实验电热板加热半导体中的晶圆具有以下好处:


温度均匀性:HT-200实验电热板采用玻璃陶瓷台面,能够提供相对较大的加热面积,并能够使加热温度在整个晶圆表面分布均匀,避免局部过热或者过冷现象的出现。


稳定性:HT-200控制方式采用分体设计,人员操作控制器时远离酸雾,安全且便于操作。铂金电阻精确控温,升温快速、加热均匀,温度可达400℃,可以精确控制晶圆的加热温度,并且能够快速响应温度变化,使得晶圆温度保持在设定范围之内。


安全性:HT-200实验电热板具有热警显示,加热台面表面温度超过50℃时,大警示灯变成红色警示,更安全。整机机身无按键且喷涂多层特氟龙防腐漆双重保护更耐腐蚀,使用更加安全可靠。


便捷性:HT-200实验电热板可以提供大加热面积,便于批量晶圆处理,同时具有大屏幕LCD液晶直观显示,操作方便。


实验电热板


为何选择格丹纳的HT-200实验电热板,主要是因为它具备以下特点:


高品质材料:实验电热板采用高品质的玻璃陶瓷台面,能够耐高温不长锈,同时耐磨损、寿命长、表面光滑易清洁。


精准控温:采用铂金电阻控制技术,能够精准控制加热温度,温度稳定度高达±1℃,测温精度为±0.2℃。


安全可靠:具有过温保护和过载保护等安全措施,同时具有热警显示功能,有效避免因操作不当或其他原因导致的事故发生。


广泛适用性:适用于不同领域的样品加热处理,包括环境监测、农业食品检验、产品质量控制、科学研究和疾病预防控制等。


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